Quantitative Bewertung flächenhafter Topographiemessverfahren für die Mikrogeometrie- und Rauheitsmessung technischer Oberflächen

Optische Topographiemessverfahren bieten einen Effizienzgewinn gegenüber den verbreiteten taktilen Profilmessverfahren. Wie aus den Ergebnissen dieser Arbeit hervorgeht, können jedoch abhängig vom Messverfahren Kenngrößen wie Ra und Rz um mehr als 100% des Messwerts variieren. Das Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, eine standardisierte Methode zu entwickeln, um flächenhafte Topographiemess-verfahren quantitativ hinsichtlich der Anwendung zu bewerten. Dieses Verfahren soll Entscheidungsträger in der Auswahl von Messverfahren unterstützen. Zur Erreichung des Forschungsziels wird eine Vorgehensweise entwickelt, um die messverfahrensbedingten Messunsicherheitseinflüsse zu quantifizieren. Das Verfahren wird angewandt auf die Messung zweier typischer Oberflächen aus dem Triebwerksbau mit einem Konfokal-, einem Fokusvariations- und einem Photometrischen-Stereo Messverfahren. Die Daten werden im Orts- und Frequenzbereich mit den Ergebnissen einer taktilen Messung verglichen. Um den Einfluss durch verschiedene Messstellen ausschließen zu können, wird eine Methode entwickelt, wie die taktil erfassten Profile in der flächenhaften Topographie lokalisiert werden können.