Kurzkohärente Oberflächenmessung unter Verwendung von ereignisbasierten Sensoren

Die scannende Kurzkohärenzinterferometrie ist ein Messverfahren zur Vermessung von komplexen Oberflächen mit Nanometerspezifikationen. Die Interferenz findet hierbei nur im Bereich der Kohärenzlänge, typischerweise einige µm, statt. Bei großen Höhenunterschieden wird also oft nur der Hintergrund aufgenommen, was eine schlechte Ausnutzung der Sensorbandbreite zur Folge hat. Bei einem Scan ist außerdem die Framerate des verwendeten Sensors limitierend. Eine neue Lösung zu Optimierung der Bandbreite ist die Verwendung ereignisbasierter Sensoren. Diese liefern einen asynchronen Informationsstrom über die Intensitätsänderung an einzelnen Pixeln des Sensors mit einer µs Zeitauflösung ohne eine fixe Framerate. In diesem Beitrag präsentieren wir den Aufbau, die Algorithmik und Messergebnisse verschiedener Oberflächen eines ereignisbasierten Kurzkohärenzinterferometriemesssystems (eCSI). Durch die neue Signalgenerierung lassen sich die aufgenommenen Daten um bis zu einer Größenordnung reduzieren.