Vergleich verschiedener Ansätze zur zerstörungsfreien optischen Charakterisierung von Subwellenlängenstrukturen

Die Nanostrukturierung optischer Elemente ermöglicht innovative Funktionalitäten, insbesondere im Bereich der Polarisationsoptik, und erschließt den Bereich der planaren Optik. Dafür und zur Ausnutzung der Formdoppelbrechung sind Mikro- oder Nanostrukturen mit hohen Aspektverhältnissen von großem Interesse. Die Kombination aus Subwellenlängenstrukturen und hohem Aspektverhältnis führt zu großen Herausforderungen sowohl für die Herstellungstechnologien als auch für die Charakterisierung der Strukturen. Wir untersuchen dazu verschiedene Ansätze, indem wir die optische Wirkung eines Liniengitters mit einer Periode von 200nm und von nanostrukturierten Beugungsgittern mit größeren Perioden vermessen und mit Modellierungen abgleichen (rigorose Methoden wie auch effektive-Medien-Theorie). Die von uns vorgestellten Ansätze umfassen hierbei z.B. die (Müller-Matrix-) Ellipsometrie, Beugungseffizienzmessungen in Transmission und Streulichtmessungen. Wir nutzen somit bekannte Methoden, welche im Zusammenspiel neue Möglichkeiten zur zerstörungsfreien Charakterisierung kleinster optischer Strukturen eröffnen.