Grenzen und Möglichkeiten der Ellipso-Höhentopometrie

Die Ellipso-Höhentopometrie misst sowohl die Oberflächenerhebungen H(x,y) als auch mit hoher Ortsauflösung die lokalen ellipsometrischen Parameter PSI(x,y) und DELTA(x,y) von strukturierten Oberflächen mit lokal veränderlichen Material und Schichteigenschaften und dazu unbekannte Oxidationen und Ablagerungen. Dies ist nicht nur wichtig zur Darstellung eines Schichtaufbaus, sondern auch weil diese in der konventionellen Interferometrie als Fehler eingehen und auch die konventionelle Ellipsometrie an rauen und feinstrukturierten Oberflächen durch Depolarisation zu Fehlmessungen kommt. Anhand von ausgearbeiteten Beispielen zeigen wir Möglichkeiten, Stand und Grenzen der EHT.