Umweltbeständige Spiegelbeschichtungen aus Iridium für den infraroten Spektralbereich

Hochreflektierende Metallbeschichtungen sind essenziell für zahlreiche optische Elemente. Bewährte Spiegelbeschichtungen aus Silber und Gold bieten eine hohe und breitbandige Eigenreflexion im infraroten Spektralbereich, sind ohne geeignete Schutzschichten jedoch anfällig gegenüber Umwelteinflüssen und mechanische Beanspruchung. Insbesondere im langwelligen Spektralbereich verringern die Absorptionsbanden dieser Schutzschichten teilweise die hohe Spiegelreflektivität wieder. Das Edelmetall Iridium ist hart, extrem dicht, thermisch, mechanisch und chemisch stabil, weist eine ähnlich hohe Reflektivität im mittleren und fernen Infrarot auf wie Silber und Gold und hat zusätzlich eine hohe Beständigkeit gegenüber Umwelteinflüssen - auch ohne Schutzschichten. In diesem Beitrag werden die optischen und strukturellen Eigenschaften von Iridium-Spiegelbeschichtungen, welche mittels Atomlagenabscheidung (ALD) und Magnetron-Sputtern hergestellt wurden, vorgestellt und miteinander verglichen. Die komplexen Brechungsindizes für ALD-erzeugte und gesputterte Iridium-Spiegelbeschichtungen wurden für Wellenlängen von 200 nm bis 20 μm bestimmt, welche nun bereits vorhandene Literaturwerte ergänzen.