Rückgeführte Kalibriernormale für Asphärenmessgeräte

Die Überprüfung und Rückführung von Asphären- und Freiformflächenmessgeräten mit Genauigkeiten von weniger als 100 nm ist herausfordernd. Um diesen Prozess zu unterstützen, wurden sogenannte Multiradienflächen entwickelt. Diese bestehen aus Kugelsegmenten unterschiedlicher Radien mit glatten Übergangsbereichen. Die aktuell verfügbaren Prüfkörper haben Segmente mit den Radien 39,5 mm und 40,0 mm und Referenzmarken, die eine eindeutige Ausrichtung bei der Auswertung ermöglichen. Die Herstellung dieser Kalibriernormale erfolgt seit Anfang 2022 durch LT Ultra-Precision Technology. Der Prüfkörper wird hierbei mit dem dynamischen Achsmodus (SlowTool) auf einer Ultrapräzisionsdrehmaschine vom Typ LT Ultra MTC250 gefertigt. Der Grundkörper aus Stahl ist mit einer Funktionsschicht aus Nickelphosphor versehen, in dem mit monokristallinen Diamantwerkzeugen beim UP-Drehen höchste Oberflächengüte und Genauigkeiten erreicht werden. Sowohl die Sphärizität als auch die Radien der Segmente werden bei der PTB mit interferometrischen Verfahren hochgenau und rückgeführt kalibriert. Sie können für optische und taktile Messgeräte eingesetzt werden und ermöglichen eine Überprüfung dieser Geräte.