Nanoimprint Lithographie auf nicht-planaren Oberflächen mittels einer Kombination aus flexiblen und vorgeformten Imprintstempel.

Mikro- und Nanostrukturen sind in der Mess-, Medizin-, wie auch in der Beleuchtungstechnik von großer Bedeutung. Speziell durch die Kombination aus makro- und mikro-skaligen optischen Komponenten wird hierdurch ein hohes Maß an Designfreiheit, Systemkompaktheit oder auch komplett neue Arten von optischen Systemen ermöglicht. Ein repräsentatives Beispiel hierfür sind Auskoppelgitter und Waveguides auf Brillengläser für Augmented-Reality-Anwendungen. Die Herausforderung besteht hierbei die klassischen Verfahren der Linsenfertigung mit Lithografischen Verfahren effizient und kostengünstig zu kombinieren, um eine Plattform für eine industrielle Fertigung zu bieten. In diesem Beitrag präsentieren wir einen möglichen Ansatz robuste nicht-planare Stempel für die UV-Nanoimprint Lithographie zu fertigen und diese für einen automatisierten Imprintprozess einzusetzen. Hierfür verwenden wir eine Negativform aus transparentem Kunststoff und kombinieren diese mit einer flexiblen PDMS-Folie mit Nanostrukturen. Wir diskutieren unsere Ergebnisse anhand Formtreue der nicht-planaren Oberfläche und Übertragungsqualität der Nanostrukturen von Stempel und Replikat.