Paraxiale Berechnungen zu Reflexen und Defekten im Interferometerstrahlengang

eckhard.langenbach@sunrise.ch

Abstract

Interferogramme werden von Reflexen und Defekten deutlich stärker gestört als normale Abbildungen, weil durch die kohärente Überlagerung zweier Wellen die davon hervorgerufene Änderung der Bildhelligkeit proportional ist zur Amplitude der Störung und nicht zu deren Quadrat. Geringe Strahlhöhen und Neigungswinkel erlauben eine ausreichend genaue paraxiale Berechnung der Effekte, und man kann die Vorteile dieser Rechenmethode für eine schnelle Abschätzung der Störungen durch alle Flächen im System ausnutzen. Dabei wird die Linearität der paraxialen Optik ausgenutzt: Beliebige Linearkombinationen von paraxialen Strahlen erzeugen wieder einen paraxialen Strahl. Zur Abschätzung der Störreflexe werden für jede Fläche die reflektierten Randstrahlen als Kombinationen der üblichen Rand- und Hauptstrahlen berechnet und in die Bildebene propagiert. Für die Defektanalyse lässt sich entsprechend die scheinbare Bild-Lage und -Größe jeder Fläche relativ zur Bildfläche des Systems berechnen. Mit diesen Daten kann man die Amplitude und den Phasenverlauf der Störungen schnell abschätzen. In den Makrosprachen kommerzieller Optikrechenprogramme lässt sich das Rechenverfahren leicht implementieren.

Keywords

Interferometrie Optisches Design Optical Metrology
PDF herunterladen
@inproceedings{dgao124-a18, title = {Paraxiale Berechnungen zu Reflexen und Defekten im Interferometerstrahlengang}, author = {E. Langenbach}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 124. Jahrestagung}, year = {2023}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Vortrag A18} }
124. Jahrestagung der DGaO · Berlin · 2023