Indirekte optische Geometriemessung mittels fluoreszierender Aerosole

Universität Bremen, Bremer Institut für Messtechnik, Automatisierung und Qualitätswissenschaft (BIMAQ);2 Universität Bremen, MAPEX Center for Materials and Processes

g.behrends@bimaq.de

Abstract

Die indirekte optische Geometriemessung (InOGeM) mittels konfokaler Fluoreszenzmikroskopie ist ein neuer Ansatz zur Topografiemessung. Im Gegensatz zu klassischen optischen Messverfahren, welche die Oberflächenposition durch Lichtstreuung bzw. –reflexion am Objekt messen, wird hier die umgebende, mit fluoreszierenden Partikeln angereicherte Atmosphäre optisch detektiert. Die Objektoberfläche wird durch einen charakteristischen Abfall der Fluoreszenzintensität während des Axialscans lokalisiert. Ein Flächenscan liefert die 3D-Topografie des Objekts. Da die Geometriemessung nicht von den optischen Eigenschaften des Messobjektes, sondern des umgebenden Fluids abhängt, kann dieses indirekte Prinzip auch bei Objekten eingesetzt werden, die optisch bislang nur eingeschränkt bzw. nicht messbar sind. Hierzu zählen stark absorbierende oder geneigte Oberflächen wie Faserverbundbauteile und Beschichtungen. Der indirekte Geometriemessansatz wird mit geeigneten fluoreszierenden Aerosolen realisiert und durch Vergleichsmessungen mit einem Weißlichtinterferometer experimentell validiert. Zudem wird der minimierte Einfluss der optischen Eigenschaften der Messobjekte auf die Messung demonstriert.

Keywords

Oberflächen 3D-Messtechnik Optical Metrology
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@inproceedings{dgao124-a30, title = {Indirekte optische Geometriemessung mittels fluoreszierender Aerosole}, author = {G. Behrends, A. Tausendfreund, A. Fischer}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 124. Jahrestagung}, year = {2023}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Talk A30} }
124. Annual Conference of the DGaO · Berlin · 2023