Neue Designmöglichkeiten durch Zweiphotonenlithographie für ein RGB-Interferometer-Beleuchtungsmodul

Spezialisierte Messsysteme erfordern oft maßgeschneiderte Optiksysteme. Die Zweiphotonenlithographie (TPP) hat sich hier im Bereich der mikrooptischen Systeme, die typischerweise Abmessungen von wenigen 100 µm haben, etabliert. Am Beispiel einer dreifarbigen Beleuchtungsoptik für ein neues Interferometerprinzip wird in diesem Vortrag illustriert, wie mit Hilfe der Zweiphotonenlithographie auch makroskopische Optiksysteme mit Abmessungen im Bereich von Zentimetern von der Flexibilität dieser Fertigungsmethode profitieren können. Gezeigt wird ein hexagonales Punktquellenbeleuchtungsarray, das in drei Farben leuchtet, wobei keine benachbarten Punktquellen dieselbe Wellenlänge aufweisen. Die Lösung zeigt eine hohe Gesamteffizienz, da sie ohne Farbfilterarrays auskommt. Vignettierung wird durch einen mikroprismenbasierten Feldlinsenansatz vermieden. Anwendung findet diese Beleuchtung perspektivisch in der instantanen Vermessung von Präzisionsoptiken.