Photonisches Instrument zur präzisen Strahlprofilmessung

Hochschule Pforzheim, Tiefenbronner Str. 65, D-75175 Pforzheim, Germany

steffen.reichel@hs-pforzheim.de

Abstract

Die genaue räumliche Lichtverteilung von Quellen wie Laser oder LEDs ist für verschiedene Anwendungen notwendig. Beispielsweise benötigt eine sogenannte Fast-Axis-Collimation Lens (FAC) die genaue Verteilung des Strahlprofils des verwendeten Halbleiterlasers. Hierfür muss die räumliche Lichtverteilung präzise an einem bestimmten Abstand (oder mehreren) gemessen werden. Wir stellen unser vollautomatisiertes photonisches Instrument vor, bestehend aus einem hochgenauen XY-Verschiebetisch, Photodiode mit Lochblende und rauscharmen Verstärker, elektrischer Ansteuerung und geeignetem mechanischem Aufbau. Mit Hilfe dieses Aufbaus werden verschieden Laserdioden vermessen und verglichen. Eine Kalibrierung ermöglich den direkten Zusammenhang zwischen gemessenen Photodiodenstrom (als verstärkte Spannung) und optischer Leistung bei verschiedenen Wellenlängen. Wir präsentieren die verschiedenen Aspekte unseres Messsystem zur präzisen Strahlprofilmessung, mit einem Skanbereich von 52 mm x 52 mm und kleinster Auflösung von 0.2 µm. Die gegenwärtige Genauigkeit - Streuung der Messwerte (2 Standardabweichungen – aus Wiederholtests) um den Mittelwert – beträgt weniger als 0,8 %.

Keywords

Messtechnik Lichtquellen Optical Metrology
Download PDF
@inproceedings{dgao124-a40, title = {Photonisches Instrument zur präzisen Strahlprofilmessung}, author = {S. Reichel, K. Blankenbach, A. Reber, E. Erel}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 124. Jahrestagung}, year = {2023}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Talk A40} }
124. Annual Conference of the DGaO · Berlin · 2023