Fertigung eines mikrostrukturierten Werkzeugeinsatzes zur kostengünstigen Herstellung von Hybridoptiken

Hybride optische Elemente bieten durch ihre refraktiven und diffraktiven Eigenschaften neue Möglichkeiten im Optikdesign. Durch die kombinierten Funktionen kann dabei auf zusätzliche Grenzflächen verzichtet werden, was einerseits den Herstellungsprozess optimiert und andererseits den Bauraum verringert. Im Rahmen des IGF-Projektes "REDOLIS 3D" wurde eine Prozesskette zur kostengünstigen Herstellung von Hybridoptiken erarbeitet. Mittels Spritzprägen wurde ein mikrostrukturiertes Werkzeug in hohen Stückzahlen repliziert, was zu sehr geringen Kosten pro Bauteil führt. Wir stellen die erarbeitete Prozesskette sowie das Prozessmonitoring zur lithografischen Herstellung des strukturierten Masterbauteils vor.