Messungen und numerische Simulationen der Müller-Matrix an Silizium Nanowire-Strukturen

Die Eignung von Nanodraht-Strukturen (nanowires, NW) für die Energiegewinnung aus erneuerbaren Energien, wie z.B. Solarenergie, wird aktuell innerhalb eines EMPIR Projekts untersucht. Diese säulenartigen Strukturen mit Abmessungen im Nanometer-Bereich bieten aufgrund ihrer geringen physikalischen Größe und ihres großen Oberfläche-zu-Volumen Verhältnisses einige Vorteile. Um solche Strukturen erfolgreich einsetzen zu können, ist es wichtig, nanodimensionale Charakterisierungen für die Bestimmung von z.B. Durchmesser, Höhe und Abstand der Nanodrähte durchzuführen. Auf diese Weise soll ein besseres Verständnis der Abhängigkeit der gewünschten Funktionalität eines NW-Arrays von den Strukturparametern und deren Varianz erhalten werden. Es sollen u.a. effiziente Messmethoden basierend z.B. auf optischer Scatterometrie oder Ellipsometrie entwickelt werden, die zukünftig auch im Fertigungsprozess eingesetzt werden können. Die Messungen werden mit numerischen Simulationen durch die Finite-Elemente-Methode analysiert, um die strukturellen Parameter zu rekonstruieren. Die Messmethoden und -ergebnisse sowie die Simulationen an exemplarischen Nanowire-Strukturen werden vorgestellt.