Von Einsteins Relativitätstheorie zur modernen Halbleiterproduktion

bernd.doerband@gmx.de

Abstract

Seit rund 200 Jahren wird die Interferenz des Lichts zur Qualitätskontrolle von optischen Flächen genutzt. Die Entwicklung von Computern und elektronischen Kameras ermöglichte die automatische Erfassung und Auswertung von Interferenzstreifen und schuf die Voraussetzungen für die Herstellung von ultra-präzisen optischen Flächen. Detailliert wird im Vortrag die hochgenaue digitale Interferometrie vorgestellt, die bei Carl Zeiss seit den 80er Jahren zur Herstellung von Komponenten für astronomische Spiegel und seit den 90er Jahren intensiv zur Herstellung von Optiken für die Halbleitertechnik entwickelt wurde. Der heute erreichte Stand ist Wegbereiter für die Realisierung der aktuellen und zukünftigen Digitaltechnik in der Welt. Die optische Interferenz spielt auch auf anderen Feldern eine wichtige Rolle. Der Vortrag erinnert an die Experimente, die Anfang des 20. Jahrhunderts zur Relativitätstheorie und in jüngster Zeit zum ersten Nachweis der von Einstein vorhergesagten Gravitationswelle führten.

Keywords

Messtechnik Interferometrie Asphären
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@inproceedings{dgao124-h5, title = {Von Einsteins Relativitätstheorie zur modernen Halbleiterproduktion}, author = {B. Dörband}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 124. Jahrestagung}, year = {2023}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Talk H5} }
124. Annual Conference of the DGaO · Berlin · 2023