Ultra-präzise optische Elemente für Synchrotron- und FEL-Anwendungen
- Optics and Beamlines, Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie
frank [dot] siewert [at] helmholtz-berlin [dot] de
Die Entwicklung hochbrillanter Photonenquellen, Freie Elektronen Laser (FELs) und beugungsbegrenzte Speicherringe, hat die Qualitätsanforderungen an Synchrotron-Optiken bis an die Grenze der Realisierbarkeit getrieben. Strahlformende Spiegel und Gittersubstrate für den VUV-, XUV-, und Röntgenbereich weisen tlw. zulässige Formabweichungen im sub-nm-Bereich auf. Optiken dieser Qualität können nur mit deterministischen Finishing-Verfahren wie Ion Beam Figuring oder Elastic Emission Machining hergestellt werden. Hochgenaue Messverfahren sind dabei Schlüssel-Knowhow in der Technologiekette. Der Beitrag zeigt kürzlich erzielte Ergebnisse auf dem Gebiet optischer ex-situ Metrologie, erreichte Spiegelqualitäten und Fortschritte der Fertigung von Blaze-Gittern. Für Letztere kommen klassische Verfahren wie mechanisches Teilen mittels Diamant-Werkzeug sowie Verfahren wie Elektronenstrahl-Lithographie zum Einsatz. Darüber hinaus werden Möglichkeiten der at-wave-length Metrologie am Optik-Strahlrohr von BESSY II zur Charakterisierung von Beugungsgittern und Reflektionszonenplatten sowie zur Entwicklung neuer Optiken mit ML-Beschichtungen oder variabler Liniendichte diskutiert.
@inproceedings{siewert2023h6,
author = {Siewert, Frank and Herrero, Analía and Gwalt, Grzegorz and Buchheim, Jana and Sokolov, Andrey and Baumgärtel, Peter and Lemke, Stephanie and Alimov, Svyatoslav and Knedel, Jeniffa and Seliger, Tino and Kutz, Oliver and Werner, Stephan and Rehbein, Stefan and Schneider, Gerhard and Schäfers, Franz and Hendel, Stefan and Zeschke, Thomas and Viefhaus, Jens},
title = {{Ultra-präzise optische Elemente für Synchrotron- und FEL-Anwendungen}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2023},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {124. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2023-05-31/2023-06-03},
venue = {Berlin},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2023},
pages = {H6},
langid = {ngerman},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/124-h6}
}