Doppelendinterferometrie zur Kalibrierung von Referenzkugeln für Koordinatenmessgeräte

Koordinatenmessgeräte werden mit Referenzkugeln kalibriert. Diese Referenzkugeln werden durch zwei, 90° zueinander versetzte Durchmesser sowie eine Rundheitsmessung entlang des Äquators charakterisiert. Die Messunsicherheit der Charakterisierung ist im Bereich von 50 nm. Durch die Adaption eines Doppelendinterferometer, soll die Charakterisierung der Referenzkugeln in Zukunft verbessert werden. Ziel ist eine Reduktion der Unsicherheit sowie die Erweiterung um eine Oberflächentopografie. Das Doppelendinterferometer verwendet einen symmetrischen Aufbau von zwei Messarmen. So kann der Prüfling von beiden Seiten untersucht werden. Unter Verwendung mehrerer Wellenlängen und der Koinzidenzmethode kann die absolute Länge bestimmt werden. Für die Charakterisierung von Referenzkugeln wird der Aufbau um ein Teleskop, bestehend aus zwei identischen Linsen erweitert. Das Zentrum der Referenzkugel wird in die übereinstimmenden Brennpunkte der Teleskoplinsen gesetzt. Die ersten Versuche sollen Machbarkeit und Potenzial untersuchen. Dazu werden erste Messungen entlang einer Kugelachse durchgeführt sowie eine Topografie des umliegenden Bereichs bestimmt.