Innovative Sensor-Architektur für hochgenaue Messungen optischer Elemente

Interferometrische, punktmessende Sensoren sind in Verbindung mit hochpräzisen Messmaschinen eine vielversprechende Alternative zu herkömmlichen Flächeninterferometern, insbesondere bei der Vermessung optischer Elemente wie Linsen und Spiegel. Präsentiert wird eine innovative Sensor-Architektur, nutzbar zur präzisen Vermessung eines Objekts und als Kontrollsensor einer hochpräzisen Messmaschine. Der kosteneffiziente Entwurf ermöglicht eine breite Anwendbarkeit in Industrie und Wissenschaft. Der Kontrollsensor basiert auf einem Laser-Interferometer, das eine hochpräzise Referenz für die Messungen bereitstellt. Der Objektsensor hingegen nutzt das Konzept eines kurzkohärenten Interferometers, das es ermöglicht, präzise Messungen direkt am zu untersuchenden Element/Bauteil durchzuführen. Beide Systeme erreichen Tiefenauflösung von 0,34 nm bei einer Messfrequenz von bis zu 40 kHz. Erste messtechnischen Untersuchungen zeigen die Leistungsfähigkeit der präsentierten Sensor-Architektur und das Potenzial für präzise Messungen in Optik, Halbleiterindustrie und Forschung. 38 ferometrische Sensoren T Christof Pruß T