Single-Shot Tilted-Wave-Interferometer

Die schnelle, kostengünstige und flexible Vermessung von Asphären und Freiformflächen ist eine wesentliche Anforderung in der modernen Optikfertigung. Bisher kann eine vollflächige interferometrische Vermessung in einem Kamerabild über den Einsatz einer Korrekturoptik in Form eines computergenerierten Hologramms (CGH) durchgeführt werden. Dabei wird für jedes zu vermessende Prüflingsdesign ein eigenes CGH benötigt, das extra gefertigt werden muss. Die Tilted-Wave-Interferometrie (TWI) ermöglicht die flexible Vermessung komplex geformten Oberflächen ohne zusätzliche Korrekturoptik, benötigt jedoch eine Messzeit im zweistelligen Sekundenbereich. In diesem Beitrag wird ein Konzept präsentiert, mit dem die flexible Messung mit der TWI über die parallele Auswertung der Informationskanäle: Polarisation, Wellenlänge und Phase des Lichts in einem Kamerabild durchgeführt wird. Dabei wird eine Kamera verwendet, die Superpixel mit Polarisationsund Farbfiltern besitzt. Mit diesem Prinzip lassen sich Aufnahmezeiten bei der Messung von weniger als 1 ms realisieren. Es wird die Realisierung eines Laboraufbaus vorgestellt, anhand dessen das Prinzip demonstriert werden kann. 24 erferometrie T nder Bielke T