Herstellung von formtreuen freistehenden Mikrostrukturen für den Einsatz in der Nahfeldmikroskopie

Das Auflösungsvermögen von klassischen Lichtmikroskopen konnte in den letzten Jahren mittels transparenter dielektrische Mikrostrukturen, wie beispielsweise Mikrosphären oder Solid-Immersions-Linsen (SIL), als Nahfeldoptiken, immer weiter verbessert werden. Um das volle Potenzial dieser Art von Mikrooptiken nutzen zu können, wird eine Erweiterung der Geometrie der verwendeten Mikrostrukturen von Sphären zu Freiform-Strukturen angestrebt. Für den Einsatz von formangepassten mikrooptischen Komponenten in der Nahfeldmikroskopie und die hiermit verbundene Interaktion mit den evanenszenten Feldern an der Probenoberfläche werden hohe Anforderungen an die Formtreue und die Oberflächenqualität gestellt. Einen Ansatz zur Herstellung solcher Strukturen stellt die 2-Photonen-Polymerisation (2PP) dar. Mittels 2PP lassen sich mit geeigneten Fertigungsstrategien eine hohe Formtreue und Oberflächenqualität erzeugen. Im Rahmen dieses Beitrags stellen wir einen Ansatz zur Herstellung von freistehenden Mikrostrukturen mittels 2PP mit großen Krümmungen und einer hohen Formtreue vor. 40 M I dungen der 2-Photonen-Polymerisation T Andreas Heinrich T W O C H