3D-Präzisionsstrukturierung von Glas durch selektives laserinduziertes Ätzen und UKP-Laserschweißen von Glas für photonische Technologien

Selektives laserinduziertes Ätzen ist eine Kombination aus innerem 3D-Glasmodifizieren mit fokussierter Ultrakurzpulslaserstrahlung und anschließendem nasschemischen Ätzen. Der Laserfokus wird innerhalb des Glases in 3D bewegt, um das Volumen zu belichten, das im anschließenden Nassätzprozess selektiv entfernt wird. Beispiele für 3D-Glasbauteile sind V-Nuten und Klemmvorrichtungen zur Aufnahme von Lichtleitfasern sowie Montagekomponenten für Linsen oder Spiegel. In Kombination mit dem spaltüberbrückenden Verschweißen von Glas mittels Ultrakurzpulslaserstrahlung ermöglichen die LightFab 3D-Drucker die Herstellung präziser Mikrofluidik aus Glas und neuartiger Strukturen für Quantentechnologien und Sensorik.