Digitale holografische Vibrometrie – (technologische) Grenzen und Anwendungsbeispiele

Die holografische Vibrometrie ist ein berührungsloses interferometrisches Verfahren zur schnellen ortsaufgelösten Messung von Oberflächenschwingungen ohne zeitintensiven Scanprozess. Je nach gewählter Konfiguration erlaubt sie die quantitative Charakterisierung von Schwingungen mit kleinen (µm) bis kleinsten (sub-nm) mechanischen Auslenkungen. Sie eignet sich besonders für Schwingungen mit hohen Frequenzen bei gleichzeitig jedoch niedriger Frequenzbandbreite. Mögliche Anwendungen umfassen neben der Prüfung technischer Bauteile durch akustische Resonanztests bzw. der Untersuchung von Ultraschall- oder MEMS-Aktoren zum Beispiel auch die Charakterisierung akustischer Oberflächenwellen. Anhand ausgewählter Beispiele präsentieren wir unterschiedliche Ausführungen der holografischen Vibrometrie, die im Detail der jeweiligen Messaufgabe angepasst sind. Neben der Funktionsweise werden die Eigenschaften und Grenzen der Methoden diskutiert sowie konkrete Messergebnisse vorgestellt.