Absolute Form-Interferometrie für Asphären und Freiformflächen mit einem Tilted-Wave-Interferometer

Die Tilted-Wave-Interferometrie (TWI) ermöglicht die flexible und schnelle Vermessung von Asphären und Freiformflächen durch eine Nicht-Null Interferometrie Messung. Dabei wird der Prüfling über ein Punktlichtquellenarray mit axial verschobenen Punktlichtquellen unter verschiedenen Winkeln beleuchtet, um die lokalen Gradienten des Prüflings zu kompensieren. Aus den Messdaten wird über die Lösung eines inversen Problems die Formabweichung und der Justagezustand des Prüflings bestimmt. Um eine höhere Genauigkeit bei der Messung zu erreichen, ist es nötig, die einzelnen Teilinterferogramme in einen absoluten Bezug zu setzen. In diesem Beitrag wird ein Konzept vorgestellt, um diese Informationen über die Verwendung von Lichtquellen mit unterschiedlichen Wellenlängen bei der Messung zu gewinnen. Dazu wird die durch die Messungen mit den verschiedenen Wellenlängen entstehende synthetische Wellenlänge ausgewertet und als zusätzliche Information in die Lösung des inversen Problems eingefügt. 110 technik und Messsysteme