Weiterentwicklung des Doppelendinterferometers für die Kalibrierung von Referenzkugeln zur Rückführung des Meters

Referenzkugeln in den Größen 10 mm und 30 mm sind ein Standardkalibriermittel für den Taststift eines Koordinatenmessgerätes (KMG). Dabei werden Referenzkugeln zur Rückführung der Form und des Durchmessers der Taststifte genutzt. Für diese Rückführung wird die Referenzkugel an diametralen Punkten angetastet. Aus der Geometrie der Referenzkugel lässt sich auf den Taststift zurückschließen. Die Kalibrierung der Geometrie der Referenzkugel hat dadurch einen direkten Einfluss auf die Messunsicherheit der KMG-Messungen. Unter Verwendung eines modifizierten Doppelendinterferometers (DEI) soll die Kalibrierung mehr Daten bei geringerer Unsicherheit erzeugen. Das DEI wurde ursprünglich für die Endmaßkalibrierung entwickelt und besteht aus zwei gegenläufigen Twyman-Green-Interferometern. Durch die Verwendung fokussierend Optiken wird eine Messung an Kugeln ermöglicht. In einer Machbarkeitsstudie wurde dieses Messprinzips untersucht und Verbesserungsmöglichkeiten identifiziert. Diese Arbeit stellt die Implementierung der Verbesserungen sowie die Weiterentwicklung des Messprinzips vor. Dazu gehört die Verwendung von Parabolspiegeln und eine neue Auswertungsmethodik.