Neu konzipiertes Messprogramm für eine Nanopositioniermaschine mit fünf Dimensionen

Für die 3D-Nanofabrikation auf stark gekrümmten oder freigeformten Oberflächen ist eine kontinuierliche und hochpräzise Antastung der Probenoberfläche erforderlich. Für minimale Messabweichungen soll der Messsensor in Echtzeit senkrecht zu den zu messenden Oberflächen stehen. Zu diesem Zweck wurde eine 5D-Nanopositioniermaschine entwickelt. Diese neu konzipierte Maschine basiert auf der klassischen 3D-Nanopositioniermaschine NMM-1 mit zwei zusätzlichen rotativen Freiheitsgraden, die dem Tool eine 360°-Drehung und eine 60°- Neigung um Hohlsäulen ermöglichen. Mit Hilfe eines optischen Abstandssensors (Fokussensor) können die Profilmessungen durchgeführt werden. Zusätzlich steht eine Hemisphäre aus Quarz mit drei Fabry-Pérot-Interferometern als In-situ-Referenzsystem zur Verfügung, mit dem die Position des Fokussensors während der Messung in Echtzeit bestimmt werden kann. Diese Arbeit konzentriert sich auf das Programm zur Reglung des Systems, um eine Synchronisation zwischen den Polarkoordinaten des Referenzsystems und den kartesischen Koordinaten der NMM-1 herzustellen. Gleichzeitig wurde das System mit einer Stahlkugel von 9 mm Durchmesser kalibriert. 112 technik und Messsysteme