Flexibles optisches Modul mit zwei kaskadierten Phasenmodulatoren (LCoS-SLM) für die Hochleistungs-Ultrakurzpuls-Lasermaterialbearbeitung

Durch die Verfügbarkeit von Phasenmodulatoren, die für Laserleistungen von über 700 W geeignet sind, kann die verfügbare Leistung moderner Ultrakurzpuls-Laserstrahlquellen effizient genutzt werden. Die erforderliche Agilität wird über dynamische Strahlformung mittels LCoS-SLM erzielt. Eine Kaskadierung von zwei LCoS-SLM ermöglicht dabei die Erzeugung nahezu beliebig komplexer und gleichzeitig robuster Strahlprofile. In Kombination mit einer simultanen Strahlteilung ist zudem eine anwendungsspezifische Multistrahlbearbeitung realisierbar. Allerdings gibt es derzeit noch keine standardisierte Integrationsmöglichkeit der kaskadierten Pha-senmodulatoren in ein flexibel einsetzbares optomechanisches System, sodass jedes Anwendungsszenario grundsätzlich eine Neuauslegung des optomechanischen Systems erfordert. Daher wird in dieser Arbeit ein kompaktes optomechanisches System mit zwei LCoS-SLMs vorgestellt, das sich für die Integration in verschiedenen Maschinenarchitekturen eignet und für unterschiedlichste Ablations- und Umschmelzprozesse einsetzbar ist. Durch die Kompatibilität mit unterschiedlichen Scan-Systemen kann hierbei eine verzeichnungsarme Bearbeitung realisiert werden. 54 lformung . Brüning