Untersuchung der Referenzpunkt-abgestützten Prüflingsjustage am Tilted-Wave Interferometer

Das Tilted-Wave Interferometer (TWI) bietet einen vielversprechenden Ansatz zur nulltestfreien Formmessung von Asphären und Freiformen. Der Ansatz basiert auf Kombination von interferometrischen Messungen mit vielen zueinander verkippten Wellenfronten und modellbasierter Auswertung. Allerdings ist die Zuordnung zwischen Prüflingsform und den gemessenen relativen optischen Weglängen nicht eindeutig, sondern hängt auch von der Prüflingsposition ab. Ein Ansatz zur Verbesserung der Genauigkeit der Formmessung ist daher, Abweichungen zwischen der Prüflingsposition im Experiment und im Modell zu verringern. Hierfür wird eine Justagestrategie vorgestellt, die von einer Referenzposition aus mittels externer Abstandsmessung den Prüfling in die Messposition einjustiert. Für eine genaue Messposition wird sowohl die Wiederholbarkeit der Referenzposition als auch der Transfer in die Messposition untersucht. Hierfür werden sowohl Simulationen als auch Wiederholungsmessungen mit bekannten Artefakten durchgeführt. Die Ergebnisse tragen zum besseren Verständnis der prüflingspositionsabhängigen Messunsicherheitsbeiträge im TWI bei und führen so zu verlässlicheren und genaueren Messergebnissen.