Untersuchung von kohärenzscannenden Interferometern mit integrierter Schwingungskorrektur

Zur hochauflösenden flächenhaften optischen Messung von Oberflächentopographien technischer und optischer Funktionsflächen hat sich die kohärenzscannende Interferometrie (CSI), auch bekannt als Weißlichtinterferometrie, als flexibles industrielles Standardmessverfahren etabliert. In dieser Arbeit präsentieren wir ein schwingungskorrigiertes CSI, das einen oszillierenden Referenzspiegel und einen integrierten interferometrischen Abstandssensor (IDS) umfasst. Der IDS arbeitet synchron mit dem CSI und misst die Abstandsänderungen während des Tiefenabtastprozesses mit hoher zeitlicher Auflösung. Die durch den IDS gewonnenen zusätzlichen Informationen werden genutzt, um die CSI-Daten zu korrigieren, die durch unerwünschte Abstandsänderungen aufgrund von Umgebungsvibrationen nach der Messung gestört sind. In früheren Arbeiten konnte die Machbarkeit dieser Technik mit gängigen Interferometeranordnungen nachgewiesen werden, wodurch das Spektrum der möglichen Anwendungen erweitert wurde. Der vorliegende Beitrag beschreibt weitergehende Untersuchungen an verschiedenen Oberflächentopographien, die insbesondere auch multifrequente und transiente Schwingungseinflüsse berücksichtigen.