Laserbasierte Herstellung einer akustischen Kammer für ein optisches Mikrofon

Mikrofone werden in unserem Alltag für die Sprach- und Tonerkennung eingesetzt. Der Dynamikbereich der gegenwärtig verwendeten Mikrofone ist jedoch geringer als der des menschlichen Gehörs. Das PionEar Projekt zielt darauf ab, diesen Dynamikbereich durch die Entwicklung eines optischen Mikrofons auf Basis von VCSELn zu erweitern. In dieser Konzeptstudie wird ein laserbasiertes Herstellungsverfahren zur Erzeugung einer miniaturisierten akustischen Kammer aus Glas vorgestellt. Diese akustischen Kammern dienen als Fundament für die Integration der VCSELs und Membranen für das Mikrophon. Die Substrate mit den akustischen Kammern werden mittels selektivem laser-induzierten Ätzen (SLE) und Standardmetallisierungsverfahren hergestellt. Das Design umfasst mehrere wesentliche Funktionen, darunter Säulenstrukturen für die Montage der VCSELs, einen optischen Port für die Lichtkopplung, elektrische Leiterbahnen für die VCSEL-Ansteuerung und Wärmeleiter für das Temperaturmanagement. Die SLE-Technik ermöglicht hierfür die Realisierung komplexer Strukturen innerhalb des Glassubstrats, die eine optimale Platzierung und Ausrichtung der VCSELs, Membranen und des optischen Messkanals gewährleisten. 12:00 Ende der Tagung 96 rialbearbeitung und Hochleistungslaser A. Toulouse S A M S T A G