Interferometrisches Streifenstabilisierungssystem für scannende Interferenzlithografie auf Basis eines Polarisations-Bildsensors

Diffraktive Gitter werden heutzutage in zahlreichen optischen Anwendungen verwendet. Dabei wachsen die Anforderungen an die präzise Herstellung dieser Elemente stetig. Einerseits sollen großflächige Elemente mit Kantenlängen von einigen Zentimetern in kürzester Zeit hergestellt werden, andererseits sollen die Perioden unterhalb der Belichtungswellenlänge liegen. Die scannende Interferenzlithografie (SBIL) schafft hier Abhilfe. Während des Belichtungsprozesses können Umwelteinflüsse wie Vibrationen, Druck- und Temperaturänderungen mittlerweile gut beherrscht werden. Brechungsindexschwankungen und Luftverwirbelungen sind weiterhin kritische Faktoren während der Herstellung. Durch diese Einflüsse ändert sich die relative Phasenlage der beiden interferierenden Strahlen, so dass sich die Minima und Maxima des Belichtungsmusters verschieben und Fehlbelichtungen im Fotolack entstehen. Unter Verwendung einer polarisationssensitiven Kamera wird die Phasenlage eines separaten Messstrahls detektiert und durch einen Piezoaktuator korrigiert. Zusätzlich kann durch diesen Ansatz die Rotation des Streifenmusters während des Belichtungsprozesses quantifiziert werden.