Weiterentwicklung und neue Anwendungen der Ellipso-Höhentopometrie EHT

Die Ellipso-Höhentopometrie EHT misst sowohl die Oberflächenerhebungen rauer und strukturierter Oberflächen H(x,y) als auch mit hoher Ortsauflösung die lokalen ellipsometrischen Parameter PSI(x,y) und DELTA(x,y) auf demselben Messpunkteraster und aus denselben Messdatensätzen. Sie sind somit gegenseitig zugeordnet und verrechenbar. Anhand von Oberflächen mit neuen Materialaufbauten werden erste Ergebnisse der analytischen Inversion des Überschichtungssystems und der Implementierung anderer weiterführender Auswertemethoden zur Domänensegmentierung gezeigt. Die gemessene Höhentopgrafie bisher schwierig zu erfassender Oberflächen wird durch Materialkarten, Schichtdickenprofile und der Darstellung des gesamten Tiefenaufbaues mit hoher Orts- und Tiefenauflösung ergänzt.