Linsenlose Weißlichtinterferometrie an technischen Bauteilen

Weißlichtinterferometrie (WLI) ist ein etabliertes und leistungsstarkes optisches Messverfahren zur topographischen Charakterisierung von Oberflächen. Es findet aufgrund seiner hohen Präzision mit Höhenauflösungen im einstelligen Nanometerbereich unter anderem Anwendung in der optischen Qualitätssicherung. Die Technologie basiert auf komplexen Mirau-Objektiven zur Erzeugung von Abbildung und Interferenz. Dadurch werden entsprechende Systeme groß und teuer, sind empfindlich gegenüber Erschütterungen und erfordern eine hohe Messdauer. Dieser Beitrag stellt ein neuartiges Verfahren zur linsenlosen WLI basierend auf digitaler Holographie vor. Der linsenlose Aufbau erlaubt kompakte, leichte Messsysteme, die weniger Einzelaufnahmen benötigen, wodurch die Messdauer und die Empfindlichkeit gegen Erschütterungen deutlich reduziert werden. Zudem können bei gleicher Auflösung größere Sichtfelder im Vergleich zu Linsensystemen aufgenommen bzw. übertragen werden. Der Einsatz dieses Systems wird am Beispiel von technischen Bauteilen demonstriert. Das Verfahren erlaubt somit neue und vielfältigere Einsatzmöglichkeiten ohne Verzicht auf axiale Auflösung.