Optimierung der absoluten Formmessung in der Tilted Wave Interferometrie

Die flexible interferometrische Messung der Form von Asphären und Freiformflächen ist ein relevantes Thema in der Optikindustrie. Mit der Tilted Wave Interferometrie (TWI) hat sich über die letzten Jahre ein Verfahren entwickelt, das flächenhafte Formmessungen mit einer hohen Messgeschwindigkeit von wenigen zehn Sekunden ermöglicht. Wie bei allen interferometrischen Verfahren führt jedoch die Mehrdeutigkeit der interferometrischen Phase zu Messunsicherheiten. In diesem Beitrag diskutieren wir zwei Methoden im Kontext der flexiblen Interferometrie, die durch die Hinzunahme weiterer Informationen Mehrdeutigkeiten reduzieren, was zu einer höheren numerischen Stabilität führt, gleichzeitig aber auch neue Herausforderungen bei der Kalibrierung mit sich bringen kann. Die erste Methode basiert auf einer Prüflingsjustagestrategie und einer externen direkt gemessenen Abstandsinformation, während die zweite Methode die Mehrwellenlängeninterferometrie nutzt, um den Eindeutigkeitsbereich über synthetische Wellenlängen zu vergrößern. Die Methoden werden mit Hilfe spezieller Testoberflächen, deren Form mit etablierten Verfahren kalibriert wurden, untersucht. 62 ferometrie Jan Burke