Entwicklungsergebnisse einer neuen ultrastabilen Variante von ZERODUR® für Anwendungen mit Pikometerpräzision

Die LAS Glaskeramik ZERODUR® ist seit vielen Jahrzehnten das bevorzugte Substratmaterial für Präzisionskomponenten und Spiegelträger in Hightech-Anwendungen wie der Mikrolithographie, Messtechnik und Astronomie. Ausschlaggebend dafür sind die extrem niedrige thermische Ausdehnung und die ausgezeichnete Bearbeitbarkeit. Eine neu entwickelte ZERODUR®-Variante zeichnet sich nun durch signifikante Fortschritte sowohl bei den thermischen als auch bei den mechanischen Eigenschaften aus. Der Temperaturbereich, in dem das Material nahezu keine thermische Ausdehnung aufweist, konnte erweitert werden. Zudem zeigt das Material im Bereich der Raumtemperatur keine thermische Hysterese und überzeugt durch eine verbesserte Langzeitstabilität. Damit ist das neue ZERODUR® besonders für Anwendungen geeignet, die höchste Stabilität im Pikometerbereich verlangen. In diesem Vortrag werden die Ergebnisse dieser Entwicklung präsentiert. 84 che Materialien ephan Reichelt