Untersuchung zur Imprintcharakteristik von 2PP-gedruckten Stempeln mittels taktiler und optischer Messtechnik

Zwei-Photonen-Polymerisation (2PP) ermöglicht die Herstellung komplexer 3D-Mikrostrukturen, welche als Stempel in der Nanoimprint-Lithographie (NIL) eingesetzt werden können. Dabei beeinflusst das Schreibdesign bei der 2PP Stempelherstellung die mechanischen Eigenschaften des Stempels. In dieser Arbeit werden die mechanischen Eigenschaften von eigenen Mikrogittern mit Referenzgeometrien aus der Literatur verglichen. Die 2PP-gedruck- ten NIL-Stempel werden sowohl optisch als auch mechanisch durch uniaxiale Kraftmessungen charakterisiert, um ihre Deformation und ihre Reaktion unter zyklischer Druckbelastung zu untersuchen. Hierfür wird ein modularer Versuchsaufbau entwickelt, der präzise Positionierung, definierte Kompressionszyklen und eine optische Erfassung der Stempeldeformation vorstellt. Der kombinierte Ansatz aus Bildgebung und Kraft-Weg-Messung erlaubt eine mechanische Charakterisierung, um Unterschiede in Replikationsqualität, Buckling-Verhalten und möglicher Schädigung der 2PP-Stempel bei wiederholter NIL-Belastung quantitativ zu erfassen. 92