A. Mai - DGaO-Proceedings

B35 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Messverfahren zur Kontrolle tiefer Siliziumstrukturen für die 3D-Chip-Integration

J. Bauer, F. Villasmunta, F. Heinrich, C. Villringer, J. Reck, S. Peters, A. Treffer, Chr. Kuhnt , St. Marschmeyer, O. Fursenko, P. Steglich , A. Mai , S. Schrader, M. Regehly

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P16 · Poster · 124. Tagung (2023)

Optical Through-Silicon Waveguides for 3D-Chip-Interconnections

F. Villasmunta , P. Steglich , F. Heinrich, C. Villringer, A. Mai , S. Schrader, H. Schenk

P26 · Poster · 124. Tagung (2023)

Silizium-photonische Biosensoren mit monolithisch integrierter Mikrofluidik

P. Steglich , M. Paul, G. Lecci, C. Mai, A. Mai