DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
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J. Kauffmann

Institut für Technische Optik, Uni Stuttgart

4 Beiträge

B5 · Vortrag · 107. Tagung (2006)

Scatterometrie an Kreuzgitterstrukturen

T. Schuster, J. Kauffmann, N. Kerwien, H. J. Tiziani, W. Osten, P. Reinig
Vortrag PDF
A19 · Vortrag · 105. Tagung (2004)

Polarisationsmikroskopie im DUV

N. Kerwien, J. Kauffmann, S. Meining, W. Osten, H.J.Tiziani
Vortrag PDF
A20 · Vortrag · 105. Tagung (2004)

Ein tomographisches Verfahren zur Rekonstruktion der volumenaufgelösten Verteilung des Brechungsindextensors.

J. Kauffmann, N. Kerwien, W. Osten, H.J. Tiziani
Vortrag PDF
P59 · Poster · 105. Tagung (2004)

Rigorose Beugungssimulation: Ein Vergleich zwischen RCWA , FDTD und der Finiten Elemente Methode

R. Berger, J. Kauffmann, N. Kerwien, W. Osten, H. J. Tiziani
Poster PDF