DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
DE

J. Kauffmann

Institut für Technische Optik, Uni Stuttgart

4 papers

B5 · Talk · 107. Conference (2006)

Scatterometrie an Kreuzgitterstrukturen

T. Schuster, J. Kauffmann, N. Kerwien, H. J. Tiziani, W. Osten, P. Reinig
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A19 · Talk · 105. Conference (2004)

Polarisationsmikroskopie im DUV

N. Kerwien, J. Kauffmann, S. Meining, W. Osten, H.J.Tiziani
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A20 · Talk · 105. Conference (2004)

Ein tomographisches Verfahren zur Rekonstruktion der volumenaufgelösten Verteilung des Brechungsindextensors.

J. Kauffmann, N. Kerwien, W. Osten, H.J. Tiziani
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P59 · Poster · 105. Conference (2004)

Rigorose Beugungssimulation: Ein Vergleich zwischen RCWA , FDTD und der Finiten Elemente Methode

R. Berger, J. Kauffmann, N. Kerwien, W. Osten, H. J. Tiziani
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