DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
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H. Groß

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

3 Beiträge

A28 · Vortrag · 113. Tagung (2012)

Towards traceability in scatterometric-optical dimensional metrology for optical lithography

B. Bodermann, J. Endres, H. Groß, M.-A. Henn, A. Kato, F. Scholze, M. Wurm
Vortrag PDF
B35 · Vortrag · 108. Tagung (2007)

Numerische Analyse des Potentials der DUV-Scatterometrie zur Charakterisierung von EUV-Photomasken

B. Bodermann, M. Wurm, R. Model, H. Groß
Vortrag PDF
H7 · Hauptvortrag · 107. Tagung (2006)

Scatterometrie: optische 3D-Charakterisierung strukturierter Oberflächen ohne (Beugungs-) Grenzen?

M. Wurm, B. Bodermann, H. Groß, A. Rathsfeld
Hauptvortrag PDF