DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
DE

H. Groß

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

3 papers

A28 · Talk · 113. Conference (2012)

Towards traceability in scatterometric-optical dimensional metrology for optical lithography

B. Bodermann, J. Endres, H. Groß, M.-A. Henn, A. Kato, F. Scholze, M. Wurm
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B35 · Talk · 108. Conference (2007)

Numerische Analyse des Potentials der DUV-Scatterometrie zur Charakterisierung von EUV-Photomasken

B. Bodermann, M. Wurm, R. Model, H. Groß
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H7 · Keynote · 107. Conference (2006)

Scatterometrie: optische 3D-Charakterisierung strukturierter Oberflächen ohne (Beugungs-) Grenzen?

M. Wurm, B. Bodermann, H. Groß, A. Rathsfeld
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