A17 · Vortrag · 125. Tagung (2024)
Charakterisierung nanoskaliger Proben mittels laborbasierter spektroskopischer EUV-Reflektometrie
S. Glabisch*, S. Schröder*, S. Brose* **, J. Stollenwerk* **, C. Holly* **
A19 · Vortrag · 125. Tagung (2024)
Herstellung von (komplex) periodischen Strukturen durch Talbot-Lithografie mit kompakten EUV-Quellen
L. Lohmann*, B. Lüttgenau*, S. Brose* **, S. Danylyuk**, J. Stollenwerk* **, C. Holly* **