L. Lohmann*

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A19 · Vortrag · 125. Tagung (2024)

Herstellung von (komplex) periodischen Strukturen durch Talbot-Lithografie mit kompakten EUV-Quellen

L. Lohmann*, B. Lüttgenau*, S. Brose* **, S. Danylyuk**, J. Stollenwerk* **, C. Holly* **