B34 · Vortrag · 126. Tagung (2025)
Interferometrisches Streifenstabilisierungssystem für scannende Interferenzlithografie auf Basis eines Polarisations-Bildsensors
K. Treptow*, H. Wu*, J. Rühle**, I. Ortlepp***, O. Sawodny**, E. Manske***, T. Kissinger***, C. Pruß*, T. Haist*, S. Reichelt*