P. Seidel

Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig

1 paper

A18 · Talk · 108. Conference (2007)

Deterministische Ionenstrahlkorrektur von Oberflächenformfehlern bis in den sub-mm Ortswellenlängenbereich

T. Hänsel, P. Seidel, A. Nickel, A. Schindler