Deterministische Ionenstrahlkorrektur von Oberflächenformfehlern bis in den sub-mm Ortswellenlängenbereich

Oberflächen mit Sub-nm-Formgenauigkeiten im gesamten Bereich der Ortswellenlängen (OWL) sind von großer Bedeutung für EUV- und Röntgenoptiken. Die lokale Polierfehlerkorrektur mittels niederenergetischem Ionenstrahlätzen als deterministische Bearbeitungstechnologie ist in der Lage derartige Qualitäten von Präzisionsoptiken wirtschaftlich herzustellen. Die jüngsten Entwicklungen im IOM beinhalten die Korrektur im technologisch schwierigen Bereich mittlerer OWL bis <1mm für die Produktion. Voraussetzung dafür ist eine leistungsfähige Ionenquelle hoher Langzeitstabilität mit anpassbarem Strahlquerschnitt mit Halbwertsbreiten (HWB) von einigen Millimetern bis zu einigen hundert Mikrometern. Basis dafür ist die im IOM entwickelte HF–Ionenquelle (13.56 MHz) mit fokussierendem 3-Gitter-Ionenextraktionssystem mit gaußförmigem Strahl von 8 mm HWB. Für diese Quelle wird ein System von Blenden mit unterschiedlichen Öffnungen eingesetzt. Damit lassen sich Werkzeugfunktionen von 8 mm bis zu 0.5 mm HWB realisieren. In diversen Applikation wird die Leistungsfähigkeit der Methode an kleinen UV-Optiken und an Synchrotronspiegeln mit Restfehlern <5nm PV und 0.5nm RMS bis zu OWL von <1mm gezeigt.