M. Peschka

Carl Zeiss AG, Carl-Zeiss-Straße 22, D-73447 Oberkochen, Deutschland

3 Beiträge

B19 · Vortrag · 119. Tagung (2018)

Optikdesign des Photomaskensystems ZEISS ForTune: Wie man beugungsbegrenzte Laserspots in dicken Proben erzeugt

M. Seeßelberg, V. Dmitriev, M. Peschka, U. Stern, J. Welte

B39 · Vortrag · 118. Tagung (2017)

Auswertung und Tolerierung irregulärer interferometrischer Prüfbereiche

C. Beder, M. Peschka

B29 · Vortrag · 108. Tagung (2007)

Simulation von Zoomsystemen mit Monte Carlo Methoden der Tolerierung

M. Peschka, D. Gängler