J. Frühauf

Institut für Mess- und Regelungstechnik, Leibniz Universität Hannover

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P54 · Poster · 108. Tagung (2007)

Bewertung von Weißlichtinterferometermessungen mit einer Kantenteststruktur

M. Rahlves, M. Seifert, T. Fahlbusch, J. Frühauf, E. Reithmeier