A28 · Vortrag · 119. Tagung (2018)
Angepasste Interferenzgitter für spektroskopische und Laser-Anwendungen von EUV bis NIR
M. Burkhardt, F. Koch, A. Kalies, L. Erdmann, M. Helgert, A. Pesch, O. Schönbrodt, F. Frost, F. Finzel, D. Lehr, A. Gatto, S. Sinzinger
A15 · Vortrag · 109. Tagung (2008)
Nichtinvasive Bestimmung der Profilgeometrie von diffraktiven optischen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis
G. Ehret, C. John, E. Buhr, M. Ferstl, M. Helgert, O. Sandfuchs, R. Brunner