S. Gliech

Fraunhofer-Institut Angewandte Optik und Feinmechanik, Jena

6 Beiträge

P30 · Poster · 109. Tagung (2008)

Streulichtmesssystem ALBATROSS

S. Gliech, R. Wendt, A. Duparré

P31 · Poster · 109. Tagung (2008)

Makyoh-Imaging zur Charakterisierung reflektierender Oberflächen

A. v. Finck , S. Gliech, A. Duparré, M. Pfeffer

P3 · Poster · 108. Tagung (2007)

Streulichtverfahren zur Inspektion ultra-präzisionsbearbeiteter Oberflächen

S. Gliech, S. Schröder, A. Duparré, G. Notni

P5 · Poster · 108. Tagung (2007)

Streulichtmesstechnik für 193 nm und 13,5 nm

S. Schröder, S. Gliech, A. Duparré

H4 · Hauptvortrag · 107. Tagung (2006)

Sensitive und flexible Streulichtmesstechnik für den tiefen UV- bis infraroten Spektralbereich

A. Duparré, S. Gliech, S. Schröder

B4 · Vortrag · 105. Tagung (2004)

Hochauflösende Streulichtanalyse an optischen Komponenten im VUV bis IR

S. Gliech, S. Schröder, A. Duparré