Streulichtmesssystem ALBATROSS

Fraunhofer-Institut Angewandte Optik und Feinmechanik, Jena

stefan.gliech@iof.fraunhofer.de

Abstract

Durch die steigenden Anforderungen an optische Oberflächen, Komponenten und Systeme gewinnt die Analyse von optischen Verlusten, Rauheiten und Defekten an optischen Komponenten mit Hilfe von streulichtbasierten Messverfahren zunehmend an Bedeutung. Am Fraunhofer IOF wurden deshalb über einen längeren Zeitraum kontinuierlich Streulichtmesssysteme entwickelt und eingesetzt. In jüngster Zeit wurde das Streulichtmesssystem ALBATROSS (Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter Measurement) fertiggestellt, das im gesamten 3D-Raum bei verschiedenen Laserwellenlängen vom ultravioletten bis infraroten Bereich arbeitet. Es kann bei verschiedenen Messmodi (Streulicht, Reflexion, Transmission, Gittereffizienz, 2  etc.) mit einem Dynamikbereich bis 15 Größenordnungen eingesetzt werden und ist auch für die Untersuchung komplex geformter sowie sehr großer Bauteile mit Kantenlängen bis zu 500 mm geeignet. Beispielhaft werden Untersuchungsergebnisse von technisch rauhen bis hin zu superglatten Oberflächen und optischen Schichten gezeigt.

Keywords

Messtechnik Oberflächen Dünne Schichten
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@inproceedings{dgao109-p30, title = {Streulichtmesssystem ALBATROSS}, author = {S. Gliech, R. Wendt, A. Duparré}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 109. Jahrestagung}, year = {2008}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Poster P30} }
109. Annual Conference of the DGaO · Esslingen · 2008