A. Voß

Institut für Strahlwerkzeuge (IFSW), Universität Stuttgart

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P49 · Poster · 109. Tagung (2008)

Interferenzlithografische Herstellung von rotationssymmetrischen Sub-Lambda-Gitterstrukturen

M. Häfner, C. Pruss, W. Osten, M. Abdou-Ahmed, M. M. Vogel, A. Voß, T. Graf